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PX系列簡(jiǎn)介 漢鐘PX系列旋片泵簡(jiǎn)化了真空泵的工藝結(jié)構(gòu)。油潤(rùn)滑旋片設(shè)計(jì),輔以的制作材料,配以*的精密制造,確保其在持續(xù)運(yùn)行時(shí)可以獲得穩(wěn)定的高真空。高效的抽氣系統(tǒng)...
用途: Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant特點(diǎn): 綠色制造、全新系列干式真空泵...
特點(diǎn):較低的電能消耗。節(jié)能模式的應(yīng)用降低整體功耗。體積小,重量輕。節(jié)省了安裝空間。
用途: Etch,Implant,HDP-CVD,SACVD,MOCVD, PECVD, LPCVD,ALD特點(diǎn):IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)...
PA VSD+系列真空泵是一款節(jié)能,環(huán)保的永磁變頻微油螺桿真空泵。 ·高效能 得益于變頻驅(qū)動(dòng)控制,PA VSD+可提供所需的流量而不會(huì)過(guò)量,避免浪費(fèi)能源。新型的...
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